电容耦合等离子体
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电容等的工作与与电感耦合耦合耦合等在在在在在在在在在中中中中中中中中中中中中反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器反应器在在在在在在充满充满充满充满充满充满充满充满充满充满低压气体（（（（（通常为为为为为为为为为为为为为为为为为为为ccp反应器反应器反应器机理高度的的的的的的的的
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