差动泵浦
应用ID：14313
压差系统管来连接真空系统中两个压力相差较大部分部分。。当当当当当当工艺工艺工艺在在较较高高下下运行运行运行运行运行运行运行运行运行运行运行运行运行中中，使用流率解析式对气流过狭窄管道流入高真空室过程过程作作近似近似近似处理处理。还还可以适当修改修改修改该该该该模型模型模型来来直接直接使用使用使用使用实验实验实验实验实验数据数据耦合得到与系统的管道和和和部分部分自由的仿真进行进行比较。。
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